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偏壓電源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設(shè)備中一個(gè)重要組件,在鍍膜工藝流程中為工件提供負(fù)(或正)偏壓。
脈沖偏壓電源:
1)提高真空等離子體內(nèi)帶電粒子的能量,轟擊清洗所鍍工件表面,使工件表面經(jīng)受高能粒子撞擊后得到嶄新的表層,從而提高后續(xù)沉積膜層的結(jié)合力
2)提高并控制真空等離子體內(nèi)帶電粒子的能量,提高膜層與工件基體結(jié)合力
3)靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規(guī)則,調(diào)整膜層顏色
4)克服偏壓電源工作于真空等離子體環(huán)境中,由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件
標(biāo)簽:脈沖偏壓電源
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