真空鍍膜有三種形式，即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍:蒸發(fā)鍍膜，通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面；濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面，沉積在基片上；離子鍍蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面。這三種形式的真空鍍膜技術(shù)都需要一種快速冷卻裝置來輔助真空鍍膜工程。

　　真空設(shè)備由于在鍍膜過程中工件處于密閉的真空環(huán)境中，但產(chǎn)品工藝及性能卻喪失了很多，現(xiàn)有的真空鍍膜設(shè)備，也有冷卻裝置，但其冷卻效果不是很理想。

　　不能滿足人們的需要，為彌補現(xiàn)有技術(shù)不足，提供真空鍍膜設(shè)備手套箱蒸鍍一體機，本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。能保證鍍膜產(chǎn)品工藝及性能質(zhì)量的要求而設(shè)置的快速冷卻系統(tǒng)，實現(xiàn)自動控制快速冷卻的目的。

　　蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合，實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。

　　標簽：真空鍍膜電源