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MSD系列直流磁控濺射電源
主要用途:
直流磁控濺射用于鍍制各種金屬
主要特點(diǎn):
采用先進(jìn)的電流型開(kāi)關(guān)電源技術(shù),減小輸出儲(chǔ)能元件,同時(shí)提高了抑制打火及重啟速度,應(yīng)用在鋁靶鍍膜優(yōu)勢(shì)更為明顯。
具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對(duì)于傳統(tǒng)的恒流模式,更能保證鍍膜工藝的重復(fù)性。
具有理想的電壓陡降特性,自動(dòng)識(shí)別偽打火現(xiàn)象,充分滿(mǎn)足磁控濺射工藝過(guò)程的連續(xù)性。
主要參數(shù)可大范圍調(diào)節(jié)
可選擇手動(dòng)控制/模擬量接口控制,可選配RS485通訊接口。
標(biāo)簽:中頻磁控濺射電源
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