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真空密封通常有可拆密封和不可拆密封(又稱永久性密封,包括一些封接、焊接等操作)的區(qū)別。而可拆密封就相對比較復雜一點,包括了靜密封與動密封兩大類形式。
一、靜密封
真空鍍膜室的靜密封是指連接件無法做相對運動的一種密封手段。如果只是在低真空和高真空的環(huán)境,那可拆靜密封的密封材料通常采用具有很大彈性的橡膠。如果是超高真空的環(huán)境要求,那么可拆靜密封將有所限制(如高溫烘烤溫度、材料出氣率等),所以一般用軟金屬做鍍膜真空室的密封材料。
常見的可拆靜密封材料有橡膠密封、金屬密封、氟塑料密封等,此外還包括一些真空法蘭、真空規(guī)管接頭等零部件。
二、動密封
鍍膜工藝可能需要將外部的物料傳遞到真空室中。對此,真空容器物料傳遞的運動形式一般可通過傳動軸的轉動、擺動以及往復直線運動等設計來實現(xiàn)。
常見的動密封型式是傳遞平動和轉動的O形圈和填料密封,對于密封要求高的設備好選用兩個O形圈來實現(xiàn),因為這種密封方式可確保裝置軸中心準直程度。
1、傳遞軸轉動
這一類的動密封形式應用廣的是威爾遜密封,其墊圈孔徑一般設計為軸直徑的0.65倍-0.8倍,再用金屬襯墊固定住墊片邊緣,橡膠墊孔扭曲變形使內(nèi)緣貼緊軸,達到密封效果。該類型密封可用傳動軸直徑為1.5mm-70mm,但需要注意軸徑一旦超過20mm,在設計其結構時要知道壓力差的存在,不會把軸壓到真空室里面。傳遞軸轉動密封常用雙墊圈,再于雙墊圈間做抽空或注入真空潤滑油脂等措施,以達到真空室密封性能的改善效果。
2、傳動軸擺動
這一類動密封形式主要靠膜片的變形或金屬波紋管來實現(xiàn)傳遞軸的轉動或平移、擺動。該類型密封形式有密封可靠、耐高溫烘烤(因為材料多是耐高溫的 膜片或金屬波紋管)等優(yōu)勢,但是又有價格高、壽命短、位移量小等缺陷?,F(xiàn)在主要在超高真空設備中使用。
3、往復直線運動
這一類動密封裝置中的O形圈,不管是以外徑還是內(nèi)徑作滑動密封,裝置壓縮率通常都取10%~12%之間。因為是在拉伸后安裝O形圈,所以斷面直徑縮小,導致實際壓縮量也對應縮小,實際壓縮率在拉伸后一般不會低于8%。
真空鍍膜設備的密封性能是設備的一項重要指標,通??蛻舳家笪覀兊穆饴时M量地低,所以為了將設備的漏氣率限制在允許的范圍之內(nèi),那就需要采用各種密封措施,通過各種密封結構的正確設計、各種密封材料的適當選擇,是決定鍍膜設備質量好壞的一大關鍵所在。
標簽;真空鍍膜電源