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一,要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實(shí)漏,因?yàn)楣ぜ牧霞訜岷蠖紩诓煌潭壬袭a(chǎn)生氣體,有可能誤以為是從外部流進(jìn)的氣體,這就是虛漏,要排除這種情況。
二,測試好真空室的氣體密封性能,確保氣密性能符合要求。
三,檢查漏孔的大小,形狀、位置,漏氣的速度,制備出可解決方案并實(shí)施。
四,確定檢測儀器的樶小可檢漏率和檢漏靈敏性,以樶大范圍的檢測出漏氣情況,避免一些漏孔被忽略,提高檢漏的準(zhǔn)確性。
五,把握檢漏儀器的反應(yīng)時間和消除時間,把時間掌握好,保證檢漏儀器工作到位,時間少了,檢漏效果肯定差,時間長了,浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。
六,還要避免漏孔堵塞,有時由于操作失誤,檢漏過程中,一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了,以為在該位置沒有漏孔,但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強(qiáng)差異提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏氣還是存在的。
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