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脈沖偏壓電源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個重要組件,在鍍膜工藝流程中為工件提供負(或正)偏壓。
1)提高真空等離子體內帶電粒子的能量,轟擊清洗所鍍工件表面,使工件表面經受高能粒子撞擊后得到嶄新的表層,從而提高后續(xù)沉積膜層的結合力
2)提高并控制真空等離子體內帶電粒子的能量,提高膜層與工件基體結合力
3)靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規(guī)則,調整膜層顏色
4)克服偏壓電源工作于真空等離子體環(huán)境中,由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件
標簽:脈沖偏壓電源